Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники
А.А.Сазонов
В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделировании и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также системы управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата.
الفئات:
عام:
1991
الناشر:
Высшая школа
اللغة:
russian
الصفحات:
336
ISBN 10:
5060007316
ISBN 13:
9785060007312
ملف:
PDF, 16.24 MB
IPFS:
,
russian, 1991
Litres
هل تريد إضافة متجر كتب؟ إتصل بنا على support@z-lib.do
حول الملفات
المزيد من نتائج البحث
مميزات أخري 
